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[서울=NSP통신] 이상철 기자 = 테스(095610)는 인라인 기판처리 시스템 관련 특허권을 취득했다고 7일 공시했다.

회사 측은 “이번 특허로 트레이를 사용하지 않고 복수의 기판을 한번에 공정챔버로 이송할 수 있다”며 따라서 ”트레이를 사용함으로 인해 발생하는 각종 문제들을 해결할 수 있는 효과를 볼 수 있다”고 밝혔다.

이상철 NSP통신 기자, lee21@nspna.com
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