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ASM, “韓 PEALD 유일한 기지…1억달러 투자”

NSP통신, 이복현 기자, 2023-05-23 19:34 KRX2
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화성에 1300억원 투자…제2제조연구혁신센터 증설

NSP통신- (사진 = 이복현 기자)
(사진 = 이복현 기자)

(서울=NSP통신) 이복현 기자 = 네덜란드 반도체 장비회사 ASM이 국내에 1억달러 투자를 비롯해 화성 캠퍼스에 제2제조연구혁신센터를 지을 예정이다.

글로벌 반도체 장비회사 ASM이 오늘(23일) 조선 팰리스 서울 강남에서 국내 첫 기자간담회를 갖고 한국 사업 계획을 발표했다.

우선 벤자민 로 CEO는 반도체산업 생태계에서 한국의 중요성에 대해 강조하며 “지난 2월 산업통산자원부와 1억불 투자 MOU를 맺은데 이어 오는 24일에는 경기도 화성에서 제2제조연구혁신센터 기공식을 진행한다”라고 밝혔다.

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ASM은 지난 2019년 경기도 화성 동탄에 제조연구혁신센터인 화성캠퍼스를 설립해 플라스마 원자층증착(PEALD) 기술과 장비를 개발·생산했다.

이번에 ASM은 화성캠퍼스 내 제2제조연구혁신센터를 증축할 예정이다. 완공시기는 2025년을 목표로 하고 있다. 기존 센터의 규모는 약 2만m2에 달하며, 화성 제2제조연구혁신센터가 완공되면 8개 층에 걸친 3만1000m2의 공간이 추가된다.

이번 증설로 ASM 화성 시설의 연구개발 공간은 두 배 이상으로, 제조 공간은 세 배 가까이 확장될 예정이다. 시설 확장에 따라 현재 460여명 이상의 직원 숫자도 점차 늘어날 예정이다.

벤자민 로 CEO는 한국에 투자하는 이유에 대해 “한국은 아주 중요한 연구개발 제품 개발과 생산기지이며 우수한 개발인력을 보유하고 있기 때문”이라고 말했다. 특히 “중국의 현 상황에 영향을 받지는 않았다”며 “한국은 플라즈마원자층증착(PEALD) 연구개발과 생산이 진행되는 유일한 기지로, 이 PEALD 사업이 성장하고 있고 수요가 늘어나기 때문에 한국의 추가증설투자를 하게 됐다”고 설명했다.

실제 한국은 ASM의 플라즈마원자층증착(PEALD) 사업의 글로벌 중심지다. ASM의 국내 R&D팀이 개발한 기술은 원자층증착(ALD) 쿼드 챔버 모듈(QCM) 아키텍쳐, TENZA ALD(초고비율, >100:1)로 구성된 갭 필 기술, 스페이서, 라이너 및 기타 패터링 응용에 사용되는 고품질 PEALD 실리콘 및 금속 산화물 및 질화물과 같은 반도체 산업의 혁신을 이끌었다.

이외 ASM은 이번 투자를 통해 지역 일자리 창출을 기대하고 있으며 엔지니어링, 연구 개발 및 제조 분야에서의 국내 인재 양성과 인력 개발에도 힘쓸 계획이다.

ASM은 지난해 매출 기준 세계 7위 반도체 장비업체로 국내 대표기업인 삼성전자와 SK하이닉스도 고객사로 두고 있다.

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