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(서울=NSP통신 성민욱 기자) = 테스(095610)는 7일 박막증착장치에 관한 특허권을 취득했다고 공시했다.

회사 측은"이번 특허는 디스플레이 장비에 적용되는 기술로, 여러 개의 기판을 동시에 이동시키면서 복수개의 가스공급부에 의해 가스를 공급함으로써 기판 처리량을 향상시킬 수 있다"고 밝혔다.

me0307@nspna.com, 성민욱 기자(NSP통신)
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