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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 박막증착장치와 그 기판인입 및 인출방법 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 2일 공시를 통해"기판을 이송시 가스공급부의 기판이동부가 개구부에 근접할 수 있어, 공정수행시 안정성을 향상시키는 효과를 볼 수 있다."고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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