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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 테스(095610)는 인젝터 모듈 및 이를 사용하는 플라즈마 반응 장치 관련 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 21일 공시를 통해 "챔버 내부로 유입되는 공정 가스가 원하지 않는 곳으로 유동하는 것이 저지되어, 균일한 박막 형성과 공정 가스의 불필요한 소모를 줄일 수 있다."고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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