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(서울=NSP통신 이수정 기자) = 케이맥(043290)은 중에너지 이온빔 산란을 이용한 분광분석기에 관한 특허권을 취득했다고 밝혔다.

회사측은 19일 공시를 통해 “세계 최초 반도체 극초박막 분석기기인 ‘Nano-MEIS’ 장비에 적용해 수 나노 사이즈에 해당하는 박막의 두께를 원자층의 두께분해능으로 측정하는데 활용할 계획”이라고 설명했다.

endorphin@nspna.com, 이수정 기자(NSP통신)
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