サムスン電子、業界最先端の12ナノ級DRAM量産
(Seoul=NSP通信) minjung kim Journalist = SKハイニックスが半導体必須原料である「ネオン(Ne)ガス」国産化に成功した後、工程導入比重を40%まで拡大したと明らかにした。今後、SKハイニックスは2024年までにネオン国産化の割合を100%に拡大する計画だ。
SKハイニックスは需給不安リスクを先制的に解消するために協力会社である半導体用ガス製造企業TEMCおよびポスコと協力してネオンを韓国内で生産する方法を捜し出した。
ネオンは半導体露光の工程に使われるエキシマレーザーガス(ExcimerLaserGas)の主材料だ。エキシマレーザーガス成分の95%がネオンだが、ネオンは空気中に0.00182%しか存在しない希少資源だ。
SKハイニックスは今年4月から半導体露光の工程に韓国産ネオンを導入し、現在まで全体ネオン使用量の40%水準を韓国産に代替した。2024年にはネオン全量を韓国産品に代替する予定だ。
この他、SKハイニックスは来年6月までにエッチング工程に使われるクリプトン(Kr)/キセノン(Xe)ガスを国産化し、原材料需給リスクを最小化し、グローバル一流技術企業として先端半導体技術開発に必要な資源を持続的に確保していく計画だ。
NSP通信 minjung kim Journalist alswjd5176@nspna.com
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